無塵室分類依氣流型態，大致可以分成 :
垂直層流式 (Down flow)、水平層流式 (Crossflow)、及亂流式 (Conventional flow)等三種基本型式。
其中最常被採用的是垂直層流式無塵室。
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專業服務
SERVICE
無塵室設計 - 氣流型式
| 型式 | 垂直層流式 (Down flow) | 水平層流式 (Cross flow) | 亂流式 (Conventional flow) |
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| 圖示 |
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| 潔淨度 | Class 1,000 ～ 100,000 | Class 100 ～ 1,000 | Class 1 ～ 100 |
| 特點 |
設備費用較低。
管理容易。 設備配置單純且容易。 適合於全作業範圍 通常適合於全域。 |
構造簡單
氣流上下游之清淨度落差較大。 可獲得較高的潔淨度。 適合於普通作業 通常適合於所有作業範圍。 |
生產流程變更容易設備擺放
位置較有彈性。 維護管理容易。 設備費用較高。 設備體積較大，需佔空間較多。 可獲得最高等級的潔淨度。 不適合於作業狀態 可提高室內清淨度。 |